2020年是國(guó)家“十三五”規(guī)劃的收官之年?！笆濉逼陂g，作為傳感器領(lǐng)域的重要增長(zhǎng)點(diǎn)，MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展成果尤為豐碩，中國(guó)已經(jīng)成為全球MEMS市場(chǎng)發(fā)展最快的地區(qū)。

未來(lái)，我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展將呈現(xiàn)以下幾個(gè)特點(diǎn)：

      第一，未來(lái)十年是中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)的黃金十年。中美貿(mào)易摩擦、科技脫鉤、美國(guó)打壓特定企業(yè)，包括新冠肺炎疫情影響的長(zhǎng)期化，是我們不得不面對(duì)的困難，也給我們的產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來(lái)了不小的負(fù)面影響，特別是在市場(chǎng)端。但是，外部的壓力也給我們帶來(lái)了機(jī)遇。一是國(guó)產(chǎn)化機(jī)遇，之前不愿用、不敢用國(guó)產(chǎn)芯片的企業(yè)不得不使用國(guó)產(chǎn)芯片；二是科創(chuàng)板機(jī)遇，科技創(chuàng)富時(shí)代已經(jīng)來(lái)到，部分MEMS企業(yè)上市帶來(lái)了很好的示范效應(yīng)；三是新基建機(jī)遇，5G、物聯(lián)網(wǎng)市場(chǎng)帶來(lái)的新需求；四是國(guó)家扶持的機(jī)遇，國(guó)家正在加大政策和資金投入力度，扶持MEMS產(chǎn)業(yè)。因此，可以預(yù)測(cè)未來(lái)十年將是中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)的黃金十年。

       第二，中國(guó)MEMS企業(yè)創(chuàng)新能力亟待提升。MEMS產(chǎn)業(yè)前景光明，但中國(guó)MEMS企業(yè)的自主創(chuàng)新能力跟國(guó)外企業(yè)比，差距還很大。模仿的多，原創(chuàng)的少；跟隨的多，超越的少。像馬斯克獵鷹火箭那樣顛覆性的創(chuàng)新少之又少。我們希望“十四五”期間，越來(lái)越多的中國(guó)企業(yè)抓住市場(chǎng)機(jī)遇，下大力氣加強(qiáng)自主創(chuàng)新，在產(chǎn)品創(chuàng)新上走在世界前列。

 當(dāng)前國(guó)際形勢(shì)日趨復(fù)雜，企業(yè)普遍有規(guī)避風(fēng)險(xiǎn)的需求。同時(shí)，國(guó)內(nèi)MEMS制造水平不斷提高，更有反應(yīng)快速，溝通成本低、價(jià)格方面的明顯優(yōu)勢(shì)，所以很多企業(yè)都在積極考慮將制造環(huán)節(jié)回流大陸，這個(gè)趨勢(shì)非常明顯。這也導(dǎo)致大陸的MEMS晶圓廠建設(shè)提速，進(jìn)一步壯大了我們國(guó)家的MEMS制造力量。這里面地方政府起到了積極的推動(dòng)作用，但是我們也建議要因地制宜，科學(xué)論證，綜合考慮本地的產(chǎn)業(yè)鏈、人才等情況，避免一哄而上，出現(xiàn)重復(fù)建設(shè)、后期運(yùn)營(yíng)困難等現(xiàn)象。

       第四，先進(jìn)封裝是MEMS產(chǎn)業(yè)重要環(huán)節(jié)。MEMS封裝是決定MEMS器件性能的重要環(huán)節(jié)，需要同時(shí)實(shí)現(xiàn)芯片保護(hù)、外界信號(hào)交互等多種功能。封裝工藝好壞，很大程度上決定了MEMS產(chǎn)品的性能和成本。與IC封裝相比，MEMS封裝需考慮的因素更多，更加復(fù)雜，且標(biāo)準(zhǔn)不一，往往需要定制化。近年來(lái)，3D晶圓級(jí)封裝技術(shù)取得長(zhǎng)足進(jìn)步，可以把MEMS和ASIC整合在一起，進(jìn)一步提升效率和縮減尺寸是MEMS先進(jìn)封裝領(lǐng)域的重要方向。

        第五，新材料和傳感集成是MEMS產(chǎn)業(yè)新的機(jī)會(huì)。硅基MEMS已經(jīng)發(fā)展了40多年，如何才能大幅提高產(chǎn)品性能、降低成本，基于新材料的MEMS器件是一個(gè)擺在我們面前的巨大機(jī)會(huì)。比如PZT、氮化鋁、氧化釩等新材料MEMS器件正在取得突破，下一步有望快速應(yīng)用，取代部分傳統(tǒng)硅基產(chǎn)品。同時(shí)，將多種單一功能傳感器組合成多功能合一的傳感器模組，再通過(guò)集成微控制器、微處理器等芯片的傳感器集成技術(shù)，也是MEMS產(chǎn)業(yè)新的市場(chǎng)機(jī)會(huì)。

GINS100 GNSS/INS組合導(dǎo)航系列產(chǎn)品是無(wú)錫慧聯(lián)信息科技有限公司推出的一款高性能的微慣性器件和高性能的衛(wèi)星接收模塊構(gòu)成的組合導(dǎo)航產(chǎn)品。該系列產(chǎn)品由微慣性測(cè)量單元（MIMU）、衛(wèi)星接收模塊、數(shù)據(jù)采集及導(dǎo)航解算板、電源模塊等組成，通過(guò)一體化加固設(shè)計(jì)，產(chǎn)品滿足高可靠性和高動(dòng)態(tài)適應(yīng)性要求。其中微慣性測(cè)量單元（MIMU）由三個(gè)硅微MEMS陀螺、三個(gè)MEMS加速度計(jì)，溫度傳感器，可以完成角速度、加速度、溫度的測(cè)量，以滿足產(chǎn)品慣性單元的測(cè)量和解算要求，衛(wèi)星接收模塊可以同時(shí)接收北斗、GPS、GLONASS導(dǎo)航衛(wèi)星信號(hào)，提供高可靠性、高精度的三維姿態(tài)、位置、速度及時(shí)間信息。
      采用優(yōu)化的組合濾波算法，融合了慣性導(dǎo)航與衛(wèi)星導(dǎo)航兩者的優(yōu)點(diǎn)，系統(tǒng)可提供連續(xù)可靠的姿態(tài)、速度、位置、時(shí)間等導(dǎo)航信息的輸出，同時(shí)也提供慣性測(cè)量單元的原始數(shù)據(jù)（三軸角速率、三軸加速度）信息。

來(lái)源：中國(guó)電子報(bào)